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MEMS・ナノデバイスと微細加工プロセスの開発

目的

独自のプロセス技術とMEMS/NENS形成手法により、平面のみならず微細3D構造をもつ幅広い分野の応用デバイスへ展開が可能です。

概要

超微細なメカニカルセンサやアクチュエータなどMEM/NEMS(Micro/nano Electro Mechanical Systems)デバイス開発に取り組み、特に、形状記憶合金、磁歪合金等のスマート材料やソフト材料とマイクロナノデバイスの融合を図って、触覚提示デバイス、生体膜や血管操作用マイクロロボット、生体分子操作用の多機能AFMナノツール、遠隔地で動作する小惑星探査用メカなど、様々な分野の応用デバイスを開発しています。 また、これらの実現に不可欠なスマート材料薄膜・厚膜形成、3Dリソグラフィ、特殊エッチングなど、独自のマイクロ・ナノ加工プロセス開発に取り組んでいます。

関連サイト

http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/

代表者、担当組織

峯田 貴

担当学部

工学部

連絡先

mineta-t@yz.yamagata-u.ac.jp

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