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大気圧プラズマを用いたナノ・マイクロ構造の作製

目的

研究内容が企業の求めるものと一致あるいは関連する場合には積極的に産学連携に取り組みます。必要に応じて装置を研究室内で製作できるところが強みです。

概要

・ 大気圧プラズマは通常の減圧下のプラズマと比べて高価な真空装置を必要としない、プロセスの操作が容易である等の利点を持ちます。
・ 本研究ではマイクロ熱プラズマ及びマイクロ低温プラズマを用いてガラスや金属基板上に様々なナノ構造、マイクロ構造の形成を行っています。
・ 微細構造を形成する生成物は金属酸化物と有機物です。
・ 熱プラズマではガラスや金属表面上に堆積可能で、低温プラズマでは熱に弱いプラスチック等にも堆積可能です。
・ ナノ構造、マイクロ構造による機能性の付与が期待できます。

代表者、担当組織

會田 忠弘

担当学部

工学部

連絡先

aita@yz.yamagata-u.ac.jp

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