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偏光を用いた3次元形状計測

目的

一般に平面な物体に適用する偏光解析法(エリプソメトリー)を3次元物体に適用して物体の方位と傾斜情報を読み取り、3次元形状を再構成する計測法を開発しています。

概要

平面反射の概念を立体の一部に拡張すると、試料表面が滑らかな場合、観察方向から見える表面内の任意の反射点で反射の法則を満たす正反射光が存在し、その偏光楕円の形から法線ベクトルが決定できます。各反射点の法線が決まれば、積分操作で形状が再構築できます。我々は、偏光解析法による新しい3次元形状計測法の実現に取り組んでいます。

代表者、担当組織

津留俊英

担当学部

地域教育文化学部

連絡先

ttsuru@e.yamagata-u.ac.jp

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